1.本发明涉及紫外线固化型液态树脂的紫外置流固化判断方法和保护部件形成装置。
背景技术：
2.在对晶片进行磨削加工等时，线固形成对晶片的化型化判护部一个面整面进行保护的保护部件。形成保护部件的液态保护部件形成装置向载置于工作台的片上提供液态树脂，在工作台的树脂上方使保持着晶片的保持部下降，在利用保持部所保持的固断方晶片将液态树脂推展之后，使液态树脂固化，法保在晶片的成装程一个面整面上形成由树脂和片构成的保护部件。
3.作为形成保护部件的紫外置流液态树脂，已知有紫外线固化型树脂。线固在将紫外线固化型树脂在晶片的化型化判护部一个面与片之间推展的状态下，按照预先设定的液态时间照射紫外线，由此使紫外线固化型树脂固化。树脂
4.专利文献1：日本特开2021-061333号公报
5.在使用紫外线固化型的固断方液态树脂在晶片的一个面上形成保护部件的情况下，如下进行管理：根据提供至片上的法保液态树脂的量等，预先设定液态树脂的固化所需的紫外线的照射时间，按照所设定的规定的照射时间照射紫外线。但是，存在如下的问题：由于照射紫外线的紫外线照射部的劣化、液态树脂的批次不同，在固化的进行程度上产生偏差，即使照射规定时间的紫外线，也存在液态树脂未充分固化的部分。
技术实现要素：
6.本发明是鉴于该点而完成的，其目的在于提供紫外线固化型液态树脂的固化判断方法、保护部件形成装置，能够可靠地判断紫外线固化型液态树脂固化的情况。
7.本发明的一个方式是紫外线固化型液态树脂的固化判断方法，对在晶片的一个面整面上推展的紫外线固化型的液态树脂照射紫外线而判断该液态树脂固化的情况，其中，在对该液态树脂照射紫外线而使该液态树脂固化时，若由该液态树脂反射该紫外线而得的荧光的波长超过预先设定的阈值，则判断为该液态树脂已固化。
8.本发明的一个方式是保护部件形成装置，其在比晶片的一个面的面积大的片与晶片之间将紫外线固化型的液态树脂在晶片的一个面整面上推展，然后照射紫外线而使该液态树脂固化，形成由固化的树脂和该片构成的保护部件，其中，该保护部件形成装置具有：紫外线照射部，其从该片侧对该液态树脂照射紫外线；受光部，其接受由该液态树脂反射紫外线而得的荧光；以及判断部，若该受光部所接受的荧光的波长超过预先设定的阈值，则该判断部判断为该液态树脂已固化。
9.也可以是，该受光部是相机，若该相机所拍摄的拍摄图像的rgb值中的g值超过预先设定的阈值，则该判断部判断为该液态树脂已固化。
10.根据本发明的紫外线固化型液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置，根据由紫外线固化型的液态树脂反射的荧光而进行固化的判断，因此能够可靠地判断液态树脂固化的情况。
附图说明
11.图1是示出本实施方式的保护部件形成装置的立体图。
12.图2是保护部件形成装置的一部分的剖视图。
13.图3是示出保护部件形成装置中的片搬入工序的说明图。
14.图4是示出保护部件形成装置中的液态树脂提供工序的说明图。
15.图5是示出保护部件形成装置中的晶片保持工序的说明图。
16.图6是示出保护部件形成装置中的推展工序的说明图。
17.图7是示出保护部件形成装置中的固化工序的说明图。
18.图8是示出在晶片中对液态树脂的固化进行判断的区域的俯视图。
19.图9是示出保护部件形成装置中的固化工序的变形例的说明图。
20.图10是对固化工序的变形例中的液态树脂的固化判断方法进行说明的曲线图。
21.标号说明
22.1：保护部件形成装置；13：暂放工作台；14：片切割台；16：保护部件形成载台；17：片搬送机构；18：树脂提供机构；20：晶片保持部；21：升降机构；23：紫外线照射部；24：受光部；26：相机(受光部)；27：拍摄图像存储部；30：片；31：液态树脂(紫外线固化型的液态树脂)；32：保护部件；40：控制部；41：判断部；50：第1判断区域；51：第2判断区域；231：紫外线光源；232：第1紫外线照射单元；233：第2紫外线照射单元；sl：荧光；tg：阈值；uv：紫外线；vg：固化判断点；w：晶片。
具体实施方式
23.以下，参照附图对本实施方式的紫外线固化型液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置进行说明。图1和图2示出本实施方式的保护部件形成装置的整体和一部分。图3至图7是对在保护部件形成装置中进行的各工序进行说明的图。图8是示出在晶片中对液态树脂的固化进行判断的区域的图。图9是示出保护部件形成装置中的固化工序的变形例的图。图10是对固化工序的变形例中的液态树脂的固化判断方法进行说明的曲线图。
24.各图所示的x轴方向、y轴方向、z轴方向处于相互垂直的关系。x轴方向和y轴方向是大致水平的方向，z轴方向是上下方向(垂直方向)。在各图中，将示出x轴方向的双箭头线中的带有x文字的那侧设为左方，将不带x文字的那侧设为右方。将示出y轴方向的双箭头线中的带有y文字的那侧设为前方，将不带y文字的那侧设为后方。将示出z轴方向的双箭头线中的带有z文字的那侧设为上方，将不带z文字的那侧设为下方。
25.图1所示的保护部件形成装置1是通过对在晶片w的一个面整面上推展的液态树脂31(参照图6)赋予外部刺激而使该液态树脂31固化从而形成保护部件的装置的一例。液态树脂31是紫外线固化型的树脂，使液态树脂31固化的外部刺激是紫外线的照射。在图1中，用虚线示出保护部件形成装置1的外部壳体10，以透视外部壳体10的内侧的构成要素的状态示出。将晶片w中的在保护部件形成装置1中的处理时朝向上侧的面作为上表面wa，将朝向下侧的面作为下表面wb。
26.后文进行详细叙述，在保护部件形成装置1中，向载置于保护部件形成载台16的片30上提供液态树脂31(参照图2、图4、图5)，按照将晶片保持部20所保持的晶片w从保护部件形成载台16的上方推压于液态树脂31的方式进行动作。晶片w的下表面wb朝向片30推压，由
此在晶片w与片30之间将液态树脂31推展(参照图6)。在该状态下对液态树脂31照射紫外线而使该液态树脂31固化，通过固化的树脂和片30形成保护部件32(参照图7)。
27.这样的一系列的动作在统一控制保护部件形成装置1的控制部40(图1)的控制下进行。关于以下说明的各部的动作，在未明确记载控制的主体的情况下，通过从控制部40发送的控制信号控制动作。
28.晶片w例如是从圆柱状的硅等锭切出的圆板状的原切晶片。另外，晶片w不限于器件形成前的原切晶片，也可以是器件形成后的器件晶片等。
29.保护部件形成装置1在外部壳体10的x轴方向的一端侧(左侧的端部)具有盒收纳部11。在盒收纳部11中形成有上下两层的收纳空间111、112。在上层的收纳空间111中载置有对形成保护部件32前的多张晶片w进行收纳的搬入侧的盒c1。在下层的收纳空间112中载置有对形成保护部件32后的晶片w进行收纳的搬出侧的盒c2。在盒c1和盒c2中分别能够收纳多张晶片w。
30.在盒收纳部11的x轴方向的右侧的位置设置有暂放工作台13和片切割台14。暂放工作台13位于上侧，片切割台14位于下侧。在暂放工作台13上设置有对形成保护部件32前的晶片w的中心位置和朝向进行检测的晶片检测部131。在片切割台14上设置有将粘贴于晶片w的片30沿着晶片w的外形切断的片切割器141。
31.相对于暂放工作台13和片切割台14在y轴方向的前方侧设置有相对于各盒c1、c2进行晶片w的搬入和搬出的第1搬送机构12。第1搬送机构12具有支承于底座121上的机械手122，底座121被支承为能够沿着沿y轴方向延伸的一对导轨123移动。底座121具有与沿y轴方向延伸的滚珠丝杠124螺合的螺合部(图示略)。当通过电动机的驱动力使滚珠丝杠124旋转时，底座121在y轴方向上移动。
32.第1搬送机构12通过底座121在y轴方向上的移动以及机械手122的动作，在盒收纳部11与暂放工作台13和片切割台14之间进行晶片w的搬送。更详细而言，第1搬送机构12能够将形成保护部件32前的晶片w从收纳空间111内的盒c1搬出而载置于暂放工作台13。另外，第1搬送机构12能够将形成保护部件32后的晶片w从片切割台14搬出而搬入至收纳空间112内的盒c2中。
33.保护部件形成装置1在相对于暂放工作台13和片切割台14位于x轴方向的右侧的位置上具有基台15。在基台15上设置有保护部件形成载台16。保护部件形成载台16由石英玻璃等透光性材料构成，形成为圆板状。保护部件形成载台16的上表面成为用于载置片30的平坦的片支承面161。
34.保护部件形成装置1具有将片30搬送并载置于保护部件形成载台16的片支承面161上的片搬送机构17。片搬送机构17具有：对卷绕成卷状的片30进行支承的片提供部171；能够在x轴方向上移动的臂172；以及安装于臂172的侧面的夹持部173。在片搬送机构17中，通过夹持部173保持片提供部171所支承的卷状的片30，使臂172在x轴方向上移动而拉拽片30，由此将片30载置于保护部件形成载台16的片支承面161上。
35.片30由透光性材料构成。作为片30，例如可以使用由聚对苯二甲酸乙二醇酯等形成的膜等。另外，也可以使用由除此以外的材质构成的片30。
36.在保护部件形成载台16的片支承面161上形成有多个吸引孔(图示略)。吸引孔与吸引源162(参照图2)连接。使吸引源162进行动作而对吸引孔作用吸引力，由此将载置于片
支承面161上的片30吸引保持于片支承面161。
37.在保护部件形成载台16的附近设置有向片支承面161上的片30的上表面提供规定量的液态树脂31的树脂提供机构18。树脂提供机构18具有：分配器181，其与设置于基台15内的容器184连接；以及树脂提供喷嘴183，其与从分配器181延伸的连接管182连接。树脂提供喷嘴183能够以朝向z轴方向的轴为中心而旋转，能够成为将树脂提供喷嘴183定位于保护部件形成载台16的上方的状态以及使树脂提供喷嘴183从保护部件形成载台16的上方退避的状态。
38.贮存于容器184中的液态树脂31通过分配器181经由连接管182而被输送，从树脂提供喷嘴183朝向下方滴下液态树脂31。来自树脂提供喷嘴183的液态树脂31的提供量能够通过分配器181进行调整。
39.在相对于保护部件形成载台16位于x轴方向的左侧的位置上设置有从基台15向上方突出的柱19。在柱19上设置有使晶片保持部20在z轴方向上移动而相对于保护部件形成载台16接近和远离的升降机构21。升降机构21具有：沿z轴方向延伸的一对导轨211；被支承为能够相对于一对导轨211在z轴方向上移动的升降台212；以及沿z轴方向延伸且与升降台212的螺合部215(参照图2)螺合的滚珠丝杠213(参照图2)。当通过电动机214的驱动力使滚珠丝杠213旋转时，升降台212沿着一对导轨211在z轴方向上移动。当使滚珠丝杠213向第1方向旋转时，升降台212向下方移动，当使滚珠丝杠213向第2方向旋转时，升降台212向上方移动。
40.晶片保持部20通过升降台212进行支承，晶片保持部20伴随升降台212而在z轴方向上移动。晶片保持部20具有圆板状的保持工作台201。如图2、图5至图7所示，在保持工作台201的下表面侧设置有圆板状的多孔质部件202。多孔质部件202的下表面是位于保护部件形成载台16的上方的晶片保持面203。晶片保持面203是与保护部件形成载台16的片支承面161大致并行的面。
41.如图2所示，多孔质部件202经由吸引路204而与吸引源205连通。通过使吸引源205进行动作而对多孔质部件202赋予吸引力，能够利用晶片保持面203对晶片w的上表面wa进行吸引保持。
42.当在将晶片w的上表面wa吸引保持于晶片保持部20的晶片保持面203的状态(图2)下通过升降机构21使晶片保持部20下降时，晶片w的下表面wb与提供至片30上的液态树脂31接触，通过使晶片w下降的力将液态树脂31推展。
43.如图5至图7所示，晶片保持部20具有载荷检测部22。在保持工作台201的上表面侧按照位置不同的方式设置有多个载荷传感器221，通过这些载荷传感器221构成载荷检测部22。载荷检测部22通过多个载荷传感器221的输出而能够检测施加于晶片w的下表面wb的垂直方向(z轴方向)的载荷。
44.多个载荷传感器221设置于能够适当地检测施加于晶片w的下表面wb的载荷的任意位置。例如按照围绕假想的通过保持工作台201的中心而在z轴方向上延伸的中心轴的方式设置有3个载荷传感器221。
45.在保护部件形成载台16的下部设置有对滴下到片支承面161上的片30的液态树脂31照射紫外线而使该液态树脂31固化的紫外线照射部23。紫外线照射部23具有能够发出紫外线uv(图7)的多个紫外线光源231，紫外线照射部23通过具有透光性的保护部件形成载台
16和片30对液态树脂31照射紫外线uv而使该液态树脂31固化。当固化进展中的液态树脂31受到紫外线uv的照射时，反射紫外线uv而发出荧光sl。
46.另外，在保护部件形成载台16的下部设置有受光部24。受光部24能够接受从液态树脂31发出的荧光sl。受光部24由能够识别所接受的光的波长(颜色)的测色传感器等构成。受光部24位于保护部件形成载台16的径向的中央的下部。
47.如图1所示，相对于基台15在y轴方向的前方侧设置有第2搬送机构25。第2搬送机构25具有支承于底座251上的机械手252，底座251被支承为能够沿着沿x轴方向延伸的一对导轨253移动。底座251具有与沿x轴方向延伸的滚珠丝杠254螺合的螺合部(图示略)。当通过电动机的驱动力使滚珠丝杠254旋转时，底座251在x轴方向上移动。
48.第2搬送机构25通过底座251在x轴方向上的移动以及机械手252的动作而在暂放工作台13和片切割台14与晶片保持部20之间进行晶片w的搬送。更详细而言，第2搬送机构25能够从暂放工作台13接受并搬送形成保护部件32前的晶片w，交接至晶片保持部20的保持工作台201。另外，第2搬送机构25能够从晶片保持部20的保持工作台201回收形成保护部件32后的晶片w，搬送至片切割台14。
49.保护部件形成装置1通过控制部40(图1)进行统一控制。控制部40由执行各种处理的处理器和存储各种参数、程序等的存储部(存储器)构成。在控制部40的存储部中，作为保护部件形成装置1的控制程序的一部分，存储有用于执行后述的紫外线固化型液态树脂的固化判断方法的程序。
50.作为控制部40的功能块之一，包含判断部41。受光部24接受受到从紫外线照射部23照射的紫外线uv的液态树脂31所发出的荧光sl。判断部41根据受光部24所接受的荧光sl而进行后述的液态树脂的固化判断。另外，判断部41的功能通过构成控制部40的处理器、存储器等的动作而实现，并不意味着由独立的电子部件构成判断部41。另外，在图1中，仅示意性示出判断部41与受光部24之间的连接关系，但控制部40也以能够收发信号的方式与受光部24以外的保护部件形成装置1的各部连接。
51.对基于如上述那样构成的保护部件形成装置1的保护部件的形成进行说明。
52.图3示出片搬入工序。在片搬入工序中，在片搬送机构17中，利用夹持部173对片30的端部进行夹持而使臂172向x轴方向移动，从片提供部171拉出片30而向保护部件形成载台16侧搬送。将拉出的片30按照规定的长度切割。将片30载置于保护部件形成载台16的片支承面161上，通过吸引源162的动作而对片支承面161的吸引孔(图示略)作用吸引力，对片30进行吸引保持。由此，片30紧贴于片支承面161。该阶段的片支承面161上的片30的面积比晶片w的下表面wb的面积大。
53.图4示出液态树脂提供工序。在液态树脂提供工序中，将树脂提供机构18的树脂提供喷嘴183定位于通过之前的片搬入工序载置于片支承面161上的片30的上方。并且，对分配器181进行控制而向树脂提供喷嘴183送出液态树脂31，从树脂提供喷嘴183朝向片30滴下液态树脂31。树脂提供喷嘴183定位于保护部件形成载台16的中央附近的上方，从树脂提供喷嘴183滴下的液态树脂31成为在比晶片w的面积小的范围积存于片30的上表面的中央附近的状态。
54.控制部40根据晶片w的大小等信息通过树脂提供机构18向片30提供遍布晶片w的整个下表面wb的量(规定量)的液态树脂31。若完成了规定量的液态树脂31的提供，则使树
脂提供喷嘴183进行旋转动作而从保护部件形成载台16的上方离开，完成液态树脂提供工序。
55.图5示出通过晶片保持工序使晶片w保持于晶片保持部20的状态。在晶片保持工序中，通过第1搬送机构12将形成保护部件32前的晶片w从收纳空间111内的盒c1取出并搬送至暂放工作台13。在暂放工作台13中，通过晶片检测部131对晶片w的朝向、中心进行检测。当检测出晶片w的朝向、中心时，通过第2搬送机构25将晶片w搬送至晶片保持部20。在晶片保持部20中，使吸引源205进行动作而对多孔质部件202作用吸引力，在晶片保持面203上吸引而保持晶片w的上表面wa。
56.另外，可以与片搬入工序和液态树脂提供工序并行地(同时地)进行晶片保持工序的至少一部分。
57.若晶片保持部20所保持的晶片w成为位于与片30上的液态树脂31的上方对置的位置的状态(图5)，则进入至图6所示的推展工序。在推展工序中，利用升降机构21使电动机214进行动作而使升降台212和晶片保持部20以规定的进给速度下降。
58.通过晶片保持部20的下降，晶片w的下表面wb与保护部件形成载台16接近而与液态树脂31接触。并且，液态树脂31被晶片w的下表面wb推压，液态树脂31在晶片w的径向上被推展。与晶片w的下表面wb接触前的液态树脂31集中地位于片30的中央附近(参照图5)，通过被晶片w推压，液态树脂31朝向晶片w的外缘侧扩展(参照图6)。
59.随着使晶片保持部20下降而通过晶片w的下表面wb将液态树脂31推展，施加于晶片w的下表面wb的z轴方向(垂直方向)的载荷(从晶片w向液态树脂31的推压力的值)增加。当液态树脂31遍及晶片w的整个下表面wb而成为液态树脂31从晶片w的外缘向外侧探出的状态时，上述载荷开始降低。这样的载荷的变化使用载荷检测部22中的载荷传感器221进行检测。
60.载荷检测部22的检测结果(来自各载荷传感器221的输出信号)被输入至控制部40。控制部40参照载荷检测部22的检测结果，根据z轴方向(垂直方向)的载荷的变化而控制升降机构21的电动机214的驱动，由此成为将液态树脂31在晶片w的整个下表面wb上(直至到达晶片w的外缘为止)推展的状态。
61.若完成推展工序而成为液态树脂31覆盖晶片w的整个下表面wb的状态，则进入至图7所示的固化工序。在固化工序中，将使液态树脂31固化的强度的紫外线uv从紫外线照射部23的紫外线光源231朝向片支承面161照射。从紫外线光源231发出的紫外线uv透过具有透光性的保护部件形成载台16和片30而到达液态树脂31，使作为紫外线固化型树脂的液态树脂31固化。若成为能够判断液态树脂31已充分固化的状态，则结束来自紫外线照射部23的紫外线uv的照射。
62.说明对液态树脂31的固化进行判断的方法。构成紫外线照射部23的多个紫外线光源231是led等，发出波长为356nm的紫外线uv。当使从紫外线照射部23照射的紫外线uv照射至液态树脂31时，液态树脂31发出荧光sl。荧光sl通过片30和片支承面161而在保护部件形成载台16内向下方行进，入射至受光部24。
63.液态树脂31在固化前透明度高，随着固化的进行，透明度、颜色、反射率等发生变化。并且，根据液态树脂31的固化的进行程度的不同，液态树脂31所发出的荧光sl的颜色、强度发生变化。即，根据液态树脂31的固化状态，荧光sl的波长(颜色)、荧光sl的特定波长
下的强度(颜色的灰度)发生变化。
64.预先设定阈值，该阈值示出使波长为356nm的紫外线uv照射至固化完成的液态树脂31时的荧光sl的波长，在控制部40的存储部中存储该阈值。
65.在固化工序中，受光部24持续接受荧光sl。并且，当受光部24所接受的荧光sl的波长超过预先存储的阈值时，判断部41判断为液态树脂31的固化已完成。
66.紫外线固化型液态树脂具有多个种类，在照射相同波长的紫外线uv的情况下，根据液态树脂的种类，在固化状态下发出的荧光sl的波长不同。例如在第1种液态树脂31的情况下，当在固化完成的状态下照射波长为356nm的紫外线uv时，发出波长为430nm的荧光sl。在第2种液态树脂31的情况下，当在固化完成的状态下照射波长为356nm的紫外线uv时，发出波长为450nm的荧光sl。
67.在使用第1种液态树脂31的情况下，将波长430nm设定为阈值。并且，关于在固化工序中受光部24所接受的荧光sl，当超过作为阈值的波长430nm时，判断部41判断为液态树脂31的固化已完成。在使用第2种液态树脂31的情况下，将波长450nm设定为阈值。并且，关于在固化工序中受光部24所接受的荧光sl，当超过作为阈值的波长450nm时，判断部41判断为液态树脂31的固化已完成。当通过判断部41进行以上的固化完成的判断时，控制部40使来自紫外线照射部23的紫外线uv的照射结束。
68.控制部40可以在荧光sl的波长超过阈值时立即结束紫外线uv的照射，也可以从荧光sl的波长超过阈值起经过规定的时间之后结束紫外线uv的照射。
69.另外，上述阈值(波长430nm、波长450nm)为一例，根据液态树脂31的种类、批次等的不同，设定适当的波长的阈值。
70.图8是示出在晶片w中对液态树脂31的固化进行判断的区域的俯视图。通过推展工序而推展的液态树脂31的外周缘311扩展至比晶片w的外周缘wc靠外侧的位置。紫外线照射部23由对圆板状的晶片w中的一半区域照射紫外线uv的第1紫外线照射单元232和对晶片w中的剩余一半区域照射紫外线uv的第2紫外线照射单元233构成。第1紫外线照射单元232和第2紫外线照射单元233分别包含在平面上分散配置的多个紫外线光源231。
71.在利用第1紫外线照射单元232照射紫外线uv的范围内设定第1判断区域50，在利用第2紫外线照射单元233照射紫外线uv的范围内设定第2判断区域51。第1判断区域50和第2判断区域51的位置、大小、形状与受光部24能够接受的范围对应而适当地设定。在本实施方式中，第1判断区域50和第2判断区域51分别为矩形的区域，第1判断区域50和第2判断区域51相对于晶片w的中心设定在大致对称的位置。
72.第1判断区域50和第2判断区域51在晶片w的径向上位于略微靠中心的位置。由此，能够利用设置于保护部件形成载台16的径向的中央的下部的受光部24接受来自第1判断区域50和第2判断区域51的荧光sl。
73.在第1判断区域50中液态树脂31发出的荧光sl和在第2判断区域51中液态树脂31发出的荧光sl被受光部24接受。并且，对各判断区域50、51进行基于判断部41的上述固化判断。控制部40使来自与各判断区域50、51中的通过判断部41判断为固化已完成的判断区域对应的紫外线照射单元的紫外线uv的照射停止。
74.在液态树脂31的固化在晶片w的整个下表面wb均等地进行的情况下，来自第1判断区域50的荧光sl和来自第2判断区域51的荧光sl同时超过上述波长的阈值。由此，来自第1
紫外线照射单元232的紫外线uv的照射和来自第2紫外线照射单元233的紫外线uv的照射在相同时机停止。
75.在液态树脂31的固化的进行程度在受到来自第1紫外线照射单元232的紫外线照射的部分和受到来自第2紫外线照射单元233的紫外线照射的部分不同的情况下，来自第1判断区域50的荧光sl超过上述波长的阈值的时机与来自第2判断区域51的荧光sl超过上述波长的阈值的时机不同。控制部40根据判断部41的判断结果而在分别适当的时机使来自第1紫外线照射单元232的紫外线照射和来自第2紫外线照射单元233的紫外线照射停止。
76.例如在判断部41判断为第1判断区域50先完成固化的情况下，控制部40使来自第1紫外线照射单元232的紫外线uv的照射停止，继续进行来自第2紫外线照射单元233的紫外线uv的照射。然后，在判断部41判断为第2判断区域51已完成固化的阶段，控制部40使来自第2紫外线照射单元233的紫外线uv的照射停止。
77.通过设定多个判断区域50、51并在各判断区域50、51分别进行液态树脂31的固化判断，能够提高固化判断的精度而使固化工序最优化。例如在第1紫外线照射单元232和第2紫外线照射单元233中的任意紫外线照射单元劣化而使紫外线uv的照射性能降低的情况下，在劣化的紫外线照射单元中，使紫外线照射时间比通常长而使液态树脂31可靠地固化，在未劣化的紫外线照射单元中为通常的紫外线照射时间，从而能够防止无用的电力消耗。
78.另外，通过分成多个判断区域50、51来进行判断，能够得到液态树脂31的固化进展在晶片w的下表面wb的面积的范围内的偏差等信息。
79.另外，在图8的例子中，设定了矩形的第1判断区域50和矩形的第2判断区域51这两个区域，但判断区域的数量、位置、形状能够适当地选择。
80.例如在通过4个紫外线照射单元对将晶片w分割成4部分的范围进行紫外线照射的类型的装置中，可以将进行液态树脂31的固化判断的判断区域设定为4个。相反，也可以不分成多个判断区域而仅利用一个判断区域进行液态树脂31的固化判断。
81.另外，也可以使判断区域为矩形以外的形状。例如可以使判断区域为圆形等。
82.在本实施方式中，利用一个受光部24接受来自第1判断区域50的荧光sl和来自第2判断区域51的荧光sl。在采用受光部24的数量少的结构的情况下，存在不容易给紫外线照射部23中的紫外线光源231的配置带来影响的优点。但是，并不排除与多个判断区域对应而设置多个受光部的结构。例如可以具有接受来自第1判断区域50的荧光sl的第1受光部和接受来自第2判断区域51的荧光sl的第2受光部。
83.图9示出保护部件形成装置1中的固化工序的变形例。在该变形例中，作为设置于保护部件形成载台16的下部的受光部，具有对片支承面161的方向进行拍摄的相机26。相机26具有透镜和拍摄元件，利用拍摄元件接受入射至透镜的光。相机26的透镜是超广角透镜，能够从片支承面161的下方侧拍摄直至在片支承面161上的片30上推展的液态树脂31的外周缘311(参照图8)的范围、或晶片w的整个下表面wb。相机26的拍摄元件具有构成受光面的多个像素，按照每个像素检测作为光的三原色的蓝色(b)、绿色(g)、红色(r)这三个颜色成分。
84.将利用相机26的拍摄元件的各像素接受的光进行光电转换而生成表示各个颜色的灰度的信号，将示出整个受光面的拍摄图像的图像数据存储于拍摄图像存储部27。利用相机26的拍摄元件检测的r、g、b这三个颜色成分分别以0至255的256灰度进行输出和处理。
即，r、g、b的各通道分别作为具有8比特(256灰度)的24比特的全彩色图像生成图像数据，并存储于拍摄图像存储部27。判断部41根据存储于拍摄图像存储部27的图像数据而进行液态树脂31的固化判断。
85.图10是示出利用接受了荧光sl的相机26进行拍摄并存储于拍摄图像存储部27的拍摄图像的rgb值中的g值的变化的曲线图。该曲线图的横轴示出时间经过，纵轴示出g值的灰度(最大为255)。在纵轴的规定位置设定作为液态树脂31的固化完成的判断基准的阈值tg。在本实施方式中，将阈值tg设定为“212”。
86.在图9所示的固化工序之前，预先测量固化完成的液态树脂31接受波长356nm的紫外线uv而发出的荧光sl(拍摄图像)的g值，将该测量值作为阈值tg而存储于控制部40的存储部。
87.在固化工序中，伴随紫外线uv的照射时间的经过，液态树脂31的固化进展，伴随液态树脂31的固化的进展，荧光sl的颜色发生变化。根据荧光sl的颜色变化，拍摄图像的g值如图10的曲线图那样变化。并且，当拍摄图像的g值超过阈值tg时(固化判断点vg)，判断部41判断为液态树脂31的固化已完成。
88.对使用g值作为液态树脂31的固化的判断基准的理由进行说明。在固化工序中，在图10的横轴方向上按照每经过规定的时间设定的4个检测点pa、pb、pc、pd，获取基于相机26的拍摄图像的rgb数据，结果rgb的灰度的值如下。
89.(1)第1检测点pa
90.r值：120、g值：187、b值：237
91.(2)第2检测点pb
92.r值：122、g值：196、b值：229
93.(3)第3检测点pc
94.r值：129、g值：236、b值：255
95.(4)第4检测点pd
96.r值：138、g值：241、b值：255
97.根据这些数值可知，荧光sl是蓝色和绿色的比例多、将蓝色和绿色进行加法混色而得到的青色系统的颜色的光。并且，与g值相比，b值高，因此荧光sl的颜色的蓝色度强。b值在比g值早的时机达到最大灰度(255)，在固化工序的进行中途(第2检测点pb与第3检测点pc之间)未检测到灰度的变化。与g值相比，r值的灰度的变化幅度小，全部以低灰度的值推移，因此难以以高精度检测灰度变化。另一方面，关于g值，从第1检测点pa到第4检测点pd灰度未达到最大灰度(255)而适当地变化，其变化幅度也大。因此，最容易精密地检测rgb这三色中的g值的变化，在固化判断的精度、可靠性的方面是有利的。
98.在固化工序中，将相机26所拍摄的拍摄图像持续存储于拍摄图像存储部27，判断部41对拍摄图像的g值的变化进行监视。图10的曲线图示出该g值的变化。判断部41对g值是否超过阈值tg进行判断，在g值超过阈值tg的固化判断点vg判断为液态树脂31的固化已完成。控制部40接受判断部41的该判断而使来自紫外线照射部23的紫外线uv的照射结束。
99.控制部40可以在拍摄图像的g值超过阈值tg时立即结束紫外线uv的照射，也可以从g值超过阈值tg起经过规定的时间之后结束紫外线uv的照射。
100.另外，根据液态树脂31的种类、批次等的不同，存在固化完成状态下的荧光sl的色
度不同的情况，因此根据液态树脂31的不同而设定适当的阈值tg。上述阈值tg的值(212)仅为一例。
101.另外，根据荧光sl的色度，还存在适合以拍摄图像的b值或r值而非g值作为基准来进行固化判断的情况。即，随着液态树脂31的固化的进行，使用最容易检测灰度的变化的颜色作为判断基准即可。因此，并不排除以拍摄图像的g值以外的值作为固化的判断基准。
102.在根据相机26所拍摄的拍摄图像而进行液态树脂31的固化判断的方式中，能够如图8那样分成多个判断区域50、51而进行固化判断。相机26能够拍摄晶片w的整个下表面wb，因此能够设定第1判断区域50、第2判断区域51作为相机26能够拍摄的范围的一部分。
103.另外，也能够利用基于相机26的拍摄范围的大小和区域选择的自由度的高低而设定第1判断区域50、第2判断区域51以外的判断区域。作为一例，可以将晶片w的中央区域、靠近外周的区域、中央与外周的中间区域这三个区域作为判断区域。
104.或者，也可以不分成多个判断区域而仅利用基于相机26的拍摄范围所包含的一个判断区域进行固化判断。在该情况下，可以仅使晶片w的下表面wb中的特定的一部分为判断区域，也可以使晶片w的整个下表面wb包含于判断区域。
105.如上所述，在图7或图8所示的固化工序中，通过判断部41进行液态树脂31中的固化判断。当液态树脂31固化时，由固化的状态的树脂(原本的液态树脂31)和片30形成覆盖晶片w的下表面wb的保护部件32。若完成保护部件32的形成，则使吸引源162的动作停止，解除保护部件形成载台16的片支承面161对片30的吸引保持。
106.接着，利用升降机构21使电动机214进行动作而使升降台212和晶片保持部20上升，将已形成保护部件32的晶片w从晶片保持部20交接至第2搬送机构25的机械手252。在该交接时，将晶片保持部20中的晶片保持面203与吸引源205的连通切断，解除晶片保持部20对晶片w的吸引保持。具体而言，通过将设置于吸引路204的开闭阀(图示略)关闭、或使吸引源205的动作停止而不对晶片保持面203作用吸引力。当解除晶片保持部20侧的吸引保持时，能够将晶片w交接至位于晶片保持部20的下方的机械手252。
107.第2搬送机构25将从晶片保持部20交接的晶片w搬送至片切割台14。使用片切割器141，沿着载置于片切割台14的晶片w的外形将多余的片30切断。
108.接着，通过第1搬送机构12将晶片w从片切割台14搬送至盒收纳部11，收纳于收纳空间112内的盒c2中。
109.如上所述，完成在保护部件形成装置1中对晶片w形成保护部件32。形成有保护部件32的晶片w被搬送至与保护部件形成装置1不同的加工装置而被加工。
110.例如将晶片w搬送至磨削装置，对保护部件32的相反侧的面(上表面wa)进行磨削加工。在磨削装置中的磨削加工时，保护部件32被按压于磨削装置的保持工作台。通过具有规定量的厚度而固化的保护部件32，能够耐受按压而稳定地磨削加工晶片w。
111.如以上所说明的那样，在本实施方式中的紫外线固化型液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置中，着眼于液态树脂31固化时透明度、颜色等光学特性的变化，具有接受被照射了紫外线uv的液态树脂31所发出的荧光sl的受光部24或相机26，若荧光sl的波长或拍摄图像的g值超过预先设定的阈值，则判断为液态树脂31已固化。
112.这样，不仅仅依赖于基于紫外线照射部23的紫外线uv的照射时间的管理，而是以根据实际液态树脂31的固化状况的荧光sl的波长或拍摄图像的灰度的变化为依据来进行
固化的判断，因此能够防止液态树脂31的固化不良(固化不足)等而以高精度可靠地形成保护部件32。
113.例如在紫外线照射部23中的第1紫外线照射单元232、第2紫外线照射单元233、或各个紫外线光源231劣化的情况下，即使按照预先设定的时间进行紫外线的照射，液态树脂31的固化也有可能不充分，但根据本实施方式，能够进行控制以便使紫外线的照射持续(延长)至基于判断部41的固化判断成立为止。
114.另外，即使存在由液态树脂31的批次不同而引起的固化进展的偏差，通过以基于判断部41的固化判断的成立为基准而进行固化，也能够对应这样的偏差而适当地进行固化。例如当尽管实际上液态树脂31发生固化，但进一步进行紫外线uv的照射时，会产生时间损失、能量损失，但根据本实施方式，能够防止液态树脂31的固化后的无用的紫外线uv的照射，能够使对液态树脂31进行的紫外线照射最优化。即，固化工序的作业效率提高。
115.另外，在即使从紫外线uv的照射开始经过预先设定的时间也未完成基于判断部41的固化判断(无法检测固化)的情况下，还能够判断为产生了紫外线照射部23的故障、液态树脂31的不良或错误(例如紫外线固化型树脂与热固化型树脂的混淆)、其他设置错误等。例如在固化工序中从紫外线uv的照射开始进行计时，在经过规定的时间也未检测到到达上述阈值的情况下，控制部40可以使用保护部件形成装置1所具有的显示器、扬声器或灯等通知部向作业者通知在液态树脂31的固化工序中产生某些错误。
116.另外，本发明的实施方式不限于上述实施方式或变形例，可以在不脱离本发明的技术思想的主旨的范围内进行各种变更、置换、变形。另外，若能够通过技术的进步或衍生的其他技术以其他方法实现本发明的技术思想，则可以使用该方法来实施。因此，权利要求书涵盖能够包含在本发明的技术思想的范围内的所有实施方式。
117.如以上所说明的那样，本发明的紫外线固化型液态树脂的固化判断方法和保护部件形成装置具有能够可靠地判断紫外线固化型的液态树脂固化的情况的效果，在包含在晶片的一个面上形成保护部件的工序的半导体等的制造领域中特别有用。